超純水設備是指化學純度*的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高。在該設備的生產過程中，水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等去除，水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。
制備工藝：
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的方式，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
超純水設備的用途：
1、超純材料和超純試劑的生產和清洗。
2、電子產品的生產和清洗。
3、電池產品的生產。
4、半導體產品的生產和清洗。
5、電路板的生產和清洗。
6、其他高科技精細產品的生產。
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